中古 SEMITOOL 460 series #84151 を販売中

SEMITOOL 460シリーズは、高度なウエハートラック技術と自動フロントエンド処理用の独自ソフトウェアを搭載したフォトレジスト機器です。このシステムは、タイトなプロセス制御のために設計されており、高精度のステージとシングルウェーハRF配信を備えています。460シリーズのフォトレジストシステムは、主にフォトリソグラフィ、熱処理、スライス転送などのプロセスに使用されます。このユニットには、ウェーハの向きと基板サイズをカスタマイズできる完全構成可能なロボットが含まれており、迅速かつ簡単なセットアップが可能です。また、このマシンにはエラー検出と診断機能が内蔵されており、プロセスをリアルタイムで制御できます。さらに、このツールは、プロセスの進行状況を追跡し、ユーザーインターフェイスを介してパフォーマンスデータを表示することができます。このアセットには独自の超精密非接触ディスペンス技術があり、最新のフォトレジストやその他の事実上あらゆる機能サイズや形状の高精度な配信を可能にします。このモデルには、位置誤差を低減するように設計された高精度のインデックスステージも装備されています。これは、厳密なプロセス制御を確保するのに役立ちます。SEMITOOL 460フォトレジスト機器には、電動チャック、クォーツターボヒーター、タービンブロワー、パーティクルスキャナー、プラズマアシストなど、最先端のオプションもあります。また、先進的な保護システムを搭載し、高感度な基板の安全性を確保しています。このユニットは、信頼性の高い正確なフォトレジストソリューションをユーザーに提供するように設計されています。SEMITOOL 460シリーズは高度なフォトレジストソリューションで、高い歩留まりと生産性を実現します。このマシンは、信頼性の高い正確なフォトレジストを提供するために設計されており、ユーザーはプロセスを最小限に抑えて制御することができます。さらに、このツールには、高精度のパフォーマンスと最大の安全性のためのいくつかの高度な機能が装備されています。