中古 SEMITOOL 440S #9137505 を販売中

SEMITOOL 440Sは、半導体製造における高精度かつ高スループットマスク加工および重要なウェットエッチング操作用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、高度な技術の超微細ライン定義など、重要な清浄度と精密加工が必要な状況での使用に最適です。このユニットは、クローズドループのデュアルコントローラプラットフォームアーキテクチャで構成され、マスクアライナーとウェットプロセッサモジュールという2つの別々の機器を駆動します。マスクアライナーは、ウェットプロセッサモジュールがウェットエッチング処理を担当している間、処理中にフォトマスクの特徴を基板と正確に整列させるために使用されます。マスクアライナーは、フォトマスクの特徴と基板との正確なアライメントを確保するために、静電ベークプレートと調整可能なパワーUVレーザーから構成されています。フラットパネルから立体面まで幅広い基板加工が可能で、基板サイズは10インチです。ベークプレートは、フォトマスク露出プロセスの前にフォトレジストを硬化させるために使用されます。ウェットプロセッサモジュールは、ウェットエッチング、酸化エッチング、蒸気エッチング、クリーニング、プライミングなど、さまざまなウェットエッチング作業を担当しています。それは2段階の水晶プロセス部屋から組み立てられ、望ましいエッチングおよびクリーニングの結果を達成するために化学的および物理的プロセス両方を利用します。マシンのオートメーションと制御機能は、高度なプロセスとアライメント制御を提供するSEMITOOL Command Software Suiteに基づいています。このソフトウェアには、リアルタイムの露出機能-エッジ監視、高精度なアライメント制御、調整可能なパワーレーザー制御、リアルタイムプロセス監視、オンラインプロセス診断などの機能が含まれます。このツールはセルフキャリブレーション機能を備えており、信頼性と再現性の高いパフォーマンスを保証します。また、カスタムデザインのプロセスレシピを可能にするプログラマブルエッチプロセスウィンドウも備えています。この資産には、警報、ドア・インターロック、緊急停止ボタンなどの包括的な安全機能も含まれており、オペレータと機器の両方を危険な状態から保護します。全体として、440Sは高精度で高スループットマスク処理のために特別に設計された高度なフォトレジストモデルです。使いやすいユーザーインターフェイス、洗練されたプロセス制御機能、および信頼性と再現性の高いパフォーマンスを保証する自己校正機能を備えています。これにより、高度な洗浄および精密加工作業における高度な技術の超微細ライン定義に最適です。