中古 SEMITOOL 440S #151783 を販売中
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SEMITOOL 440Sは、高精度で再現性のあるフォトレジストを加工するために設計されたフォトレジスト機器です。システムは、ベースユニット、5軸テーブル、レーザースキャナー、リンスステーションで構成されています。ベースユニットには、主電源と真空源、統合コントローラ、ディスプレイモニターが含まれています。5軸テーブルは、100mm x 200mmまでのフォトレジストの正確な登録と取り扱いを提供します。レーザースキャナは、最大100MHzの解像度でフォトレジストパターンを正確にスキャンできます。洗浄ステーションは、フォトレジストの均一で反復可能な洗浄を提供する特許取得の噴水技術を使用しています。440Sユニットは、フォトレジスト処理のための機能の広い範囲を提供する機能の配列を持っています。レーザースキャナーを使用して、広範囲の温度および高度におけるフォトレジストの正確な追跡と位置決めが可能です。さらに、独自に調整可能なローラーのユニークなマシンは、5軸テーブル上のフォトレジストの高精度なアライメントと位置決めを可能にします。統合されたオートメーションは、拡張実行のための大規模なツールの無人操作を可能にします。統合されたコントローラは、さまざまな処理機能を提供します。コントローラの機能の中には、ジョブからデータを保存し、これらの同じ結果を生成するために必要なプロセスパラメータを再現する機能があります。SEMITOOL 440S構造には、豊富な安全および警報システムも含まれており、機器と人員の両方を保護します。440Sは、フォトレジスト加工の高精度・再現性をお客様に提供します。先端材料と設計されて、SEMITOOL 440Sは信頼できるサービスの年を提供するように設計されています。顧客満足へのSEMITOOLのコミットメントの一環として、サービスエンジニアのグローバルネットワークは、必要に応じて支援を提供することができます。440Sフォトレジストの資産は、任意のフォトリソグラフィ研究所に貴重な追加です。
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