中古 SEMITOOL 440F #9194047 を販売中
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ID: 9194047
ウェーハサイズ: 4"
Spin rinse dryer, 4"
Controller compatability: PCS-101, PCS-102
DI Water recirculator capable
Ferrofluidic motor seal
Motor type: Brush
N2 Heater capable
Rotor type: (4) Bolts
Static eliminator capable
Resistivity monitor
Substrate size: 100 mm
System configuration: Roll around single bowl.
SEMITOOL 440Fは、SEMITOOLが製造した完全自動フォトレジスト加工装置です。フォトマスク、基板、ウェーハ、チップ、その他の半導体デバイスを幅広く製造するように設計されています。このシステムはコンパクトなスタンドアロンユニットであるため、OEM製品への容易な導入と統合が可能です。440Fは、精密エッチング、開発、ベーキング、剥離アプリケーションなど、費用対効果の高い高性能処理を提供することができます。最新のフォトリソグラフィ、ウェットケミカル、ドライエッチング機能を搭載し、高品質のレジスト構造と画像を作成できます。このプロセス装置はSEMI規格に準拠しているため、薄膜成膜、レジスト除去、化学および熱処理などのプロセスでも潜在的な危険から保護されます。さまざまなサイズの複数の基板をサポートすることができます。SEMITOOL 440Fには直感的なGUIインターフェイスがあり、包括的なワークフロー制御を提供し、オペレータは運用要件に応じてパラメータを迅速かつ簡単に調整することができます。このレビューマシンには、ツール診断、アラーム、トラブルシューティングログなどの自動安全対策が含まれています。また、IM-Matchと名付けられた独自のインテリジェントマッチングモデルも備えており、標準外処理によるスクラップや拒否を防止します。440Fは幅広い生産性オプションを提供し、一貫して高い歩留まりを維持しながら、入出力時間を大幅に短縮することができます。また、自動化された操作モードを備え、無人生産プロセスを可能にし、最適な機器使用率と効率性を確保します。このシステムは、ニュートラルまたはプラスのレジスト製剤で操作でき、ユーザーの柔軟性を高めます。SEMITOOL 440Fは全体的に信頼性が高く、堅牢なフォトレジスト加工ユニットであり、高品質のコンポーネントと製品を生産できます。直感的なGUI、柔軟で自動化された操作、生産性向上の機能を備えた440Fは、さまざまなフォトレジスト処理アプリケーションに適しています。
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