中古 SEMITOOL 440 series #84155 を販売中

SEMITOOL 440シリーズは、信頼性の高い精度と再現性を兼ね備えた、優れたリソグラフィ性能とスループットを提供するフォトレジスト加工装置です。このシステムは、集積回路（IC）の製造、トランジスタレベルのマイクロエレクトロニクス、成膜/エッチング工程など、さまざまなフォトリソグラフィ用途に使用するために設計されています。それは効率的で、費用効果が大きい処理のための先端技術、高められた人間工学および直観的な操作を特色にします。440シリーズは、独自のレジストストリップ技術を使用して、最適な基板カバレッジ、均一性、露出、開発、洗浄性能を実現しています。アクティブな「光レベラー」ユニットは、露出と開発タイミングを監視し、精度と再現性を維持します。また、デュアルクォーツプレート露出チャンバーとハイスループットスピンプロセッサを内蔵しており、迅速かつ正確な処理が可能です。独自の「React-Ramp」機能により、スピンの高速化とドウェル時間の短縮が可能になり、高度なノズル設計により、高速リンスウォータージェットをサポートします。このツールは、特許取得済みの「ソニックパルス」キャリブレーションアセットも備えており、さまざまなアプリケーションのレジストストリップ操作に適切なパラメータを確保します。これは、迅速なセットアップを可能にし、既存のSEMITOOLシステムと下位互換性のある完全に調整可能なプラットフォームを備えています。統合されたリモート処理制御により、オペレータはリモートで重要なモデル条件を診断し、必要に応じて設定を調整することができます。SEMITOOL 440シリーズ装置はクリーンルームの環境の操作のために設計されています。その優れた配電システムは、電源の変動による性能劣化がなく、高速で信頼性の高い動作を保証します。また、ヒューズ・マシナリー・インターロック・セーフティ・コントロールや温度・湿度センサーなどの冗長安全機能も搭載しています。440シリーズの優れた設計とエンジニアリングにより、最新のフォトリソグラフィ用途に最適なソリューションです。スループット、パフォーマンス、信頼性を最大限に高め、より高い精度と再現性を実現し、時間とコストを節約します。