中古 SEMITOOL 4300S #9221068 を販売中

SEMITOOL 4300Sは、薄膜や半導体基板を除去し、集積回路（IC）の生産を可能にするフォトレジスト加工装置です。それは費用効果が大きく、大量、高精度の生産のための理想的なプラットホームです。このシステムは、3軸ステッピングモータと方向真空ウエハーロードステーションで構成されています。ウェーハは、x、 y、およびz軸に沿ってステッピングモータによって移動されるキャリアにロードされます。真空ポンプは、ワークステーションにウェーハを描画し、モーターはプロセス手順を介してウェーハを移動します。SEMITOOL 4300 Sには、プログラム可能なスピン速度とUHVターボポンプを使用する精密レジストフィルムアプリケーターが装備されています。これにより、ウェーハ表面におけるフォトレジスト膜の均一な堆積が保証されます。ウェーハに印加されるトルクを最適化する精密な後回転速度制御により、蒸着精度をさらに向上させます。基板上のフォトレジストフィルムの沈着を監視するために、光学計測ユニットが使用されます。ウェーハの厚さを測定し、アプリケーターにフィードバックして、希望の厚さに応じてロータの速度を調整します。ホットプレートは調整可能で、エッチング時間や温度などのプロセス変数を設定できます。ロータには、フォトレジストプロセス中に均一な温度を確保するための冷却機があります。このツールには、使用されているフォトレジストフィルムを収集するための廃棄物コンパートメントも含まれています。4300Sは、さまざまなフォトレジストプロセスアプリケーションに使用できる汎用性の高い資産です。信頼性が高く安定しており、高精度ICの一貫生産が可能です。このモデルはまた、優れた費用対効果を提供し、生産ラインのニーズに最適です。