中古 SEMITOOL 4300S #71200 を販売中

SEMITOOL 4300Sは、最高の解像度と最小の機能サイズを達成するために高度な専門技術を活用したフォトレジストコーティングおよび開発機器です。半導体デバイス、特に非常に細い線幅を必要とするデバイスの製造に最適です。このシステムには、2つの標準的な蒸着チャンバと、下流のベークオーブンや追加の蒸着チャンバーなどの外部デバイスを接続するための複数の端子が装備されています。最大4つのポッドを追加して、合計6つのチャンバーをユニットに与えることができます。これにより、さまざまな表面サイズをコーティングすることができます。また、2つのウェーハトランスポートシステムと2つの独立したブラシレスリニアモータを備え、チャンバー内の正確なウェーハ位置決めを実現しています。このツールは、Webベースのユーザーインターフェイスを備えた自動ソフトウェア制御アセットを使用します。これにより、ユーザーは、任意のインターネット接続されたデバイスからモデルを制御することができ、また、リモート監視と制御を可能にします。さらに、高度なデータロギングとレポーティングソフトウェアを備えており、ユーザーは各ウェーハプロセスを広範囲に分析することができます。ForSubstrate暖房には、事前に配置された発熱体とハロゲンランプの両方が含まれており、温度と加熱速度を正確に制御できます。ウェーハをチャンバー内に入れると、スピンコーティング法を用いてフォトレジストコーティングが施されます。その後、サンプル基板をスピナーヘッドに積み込み、フォトレジストでスピンコーティングします。これに続いて、露出したフォトレジストを開発者またはエッチング剤で削除するマルチステップ開発プロセスが続きます。開発後、残りのフォトレジストはクリーン溶剤で基板から除去されます。分解能を高め、より小さい特徴のサイズのために、単位は2段階のCOBEXプロセスと同時に使用することができます。これは、高解像度に最適化された最初の長期スピンレベルのプロセスで構成され、次いで特徴小型化のための短期スピンレベルのプロセスで構成されています。結論として、SEMITOOL 4300 Sは、ハイエンド半導体デバイス製造のニーズを満たすように設計された強力なフォトレジストコーティングおよび開発機です。その高度な機能セットと自動化された制御ツールは、ユーザーに最高の解像度、小型化、使いやすい操作を提供します。