中古 SEMITOOL 4300S #4655 を販売中

SEMITOOL 4300S Photoresist Equipmentは、フォトレジストのアプリケーションに精度、再現性、スループットを提供するように設計された高度な自動化ソリューションです。SEMITOOL 4300 Sシステムは、前任者の成功に基づいて構築され、スループットの向上と信頼性の向上を可能にする多数のアップグレードを提供します。4300SにはCCDカメラユニットが装備されており、再現性の高い結果を得るために正確な光学アライメントを提供します。また、ロボットハンドリングアームとジェットヘッドで構成され、ウェーハ上にフォトレジスト材料を正確に分配します。ジェットヘッドは、調整可能な速度とディスペンスボリューム設定を備えており、フォトレジストの正確で信頼性の高いディスペンスを確保するように設計されています。ロボットハンドラは、自動化された処理のために複数のウェハサイズに対応することもできます。精度の向上に加えて、4300 Sツールはスループットを向上させます。このアセットには、毎分最大500の測定ポイントを測定できる高速パルス中性子活性化解析（PNAA）モデルが含まれており、スループットを向上させます。SEMITOOL 4300S装置はまた、毎分最大4500ラインを生成できる高速精密パターニングツールを使用しており、プロセス時間をさらに短縮します。SEMITOOL 4300 Sシステムのその他の機能には、フォトレジストおよび化学ソリューションの監視および補充プロセスを簡素化する組み込みの化学管理ユニットが含まれます。機械はまた一貫した製品品質およびプロセス結果を保障する統合された温度および圧力コントローラーを特色にします。要約すると、4300S Photoresist Toolは、フォトレジストアプリケーションの高精度とスループットを提供するように設計された高度で自動化されたソリューションです。CCDカメラモデル、ロボットハンドリングアーム、高速処理ツールを搭載しています。その他の機能には、化学管理装置、温度、圧力コントローラがあります。