中古 SEMITOOL 4300S #293608837 を販売中

SEMITOOL 4300Sは、高度なマイクロエレクトロニクス製造アプリケーション向けに設計されたハイエンドフォトレジスト機器です。ウエハサイズやプロセスを幅広く扱うことができる全自動コーティング開発システムです。このユニットには、正と負の両方のフォトレジスト用の自動フィルム厚さ制御も含まれています。プロセス制御、ツールの稼働時間、歩留まりを最適化する高度な機能が搭載されています。SEMITOOL 4300 Sマシンは、ガラス、シリコン、石英などの基板表面の膜厚を正確に制御します。高度な光干渉計は、ウェーハレベルで絶対膜厚を提供し、数分で正確な膜厚測定を行います。このツールはまた、リバーススキャンモード、マルチチャネル加湿器、光ファイバベースの測定技術を統合して、再現性、精度、再現性を確保します。4300Sはウェーハが適した方法で荷を積まれ、きれいにされ、露出されることを保障する自動18ステップ200mmのプログラム可能なウェーハカセットと来ます。それは精密で、均一なコーティング変数を可能にする特許を取られたノズルの技術の化学抵抗力があるスプレーヤーが装備されています。このアセットには、チャンバ圧力と流量を正確に制御する独自の4ロールスクイージモジュールも含まれており、均一な膜厚と高い収率を確保しています。4300 Sには、モデルパラメータを監視するためのハードウェアモニタ、プロセスパラメータをカスタマイズおよび変更するためのレシピエディタ、生産履歴と統計を追跡するための生産マネージャが含まれている高度なプロセス制御ソフトウェアも装備されています。統合された自動欠陥検出装置は、目に見えない異常のためにフォトレジストフィルムと基板表面を監視することによって汚染を低減します。最後に、SEMITOOL 4300Sには、簡単なアクセスと簡単なメンテナンスを可能にする人間工学に基づいたデザインが付属しています。その特徴と機能は、意図しない汚染から保護し、コストを最小限に抑えながら、効率的な処理と信頼性の高い生産を保証します。自動化されたシステムは、高い再現性、低いクロス汚染、優れたフォトリソグラフィック性能、およびマイクロエレクトロニクス製品の組み立てにおける生産性の向上をもたらすことが証明されています。