中古 SEMITOOL 4300S #25304 を販売中

SEMITOOL 4300Sは半導体産業のために設計されたフォトレジスト機器です。ウエハーに薄膜フォトレジストを正確かつ正確に堆積させるために使用される完全自動化されたプラットフォームです。Photoresist System （PRS）は、正確で信頼性の高いパフォーマンスを可能にする柔軟でユーザーフレンドリーなユニットです。高精度、均一、均質な渦の堆積を可能にするために多数のノズルを使用する高度なレジストイメージングユニットを使用しています。渦のジェット機は均一で一貫した液滴のサイズと形状を確保するために攪拌されます。これにより、最も繊細なフォトレジストでも正確かつ再現性のあるコーティングが保証されます。正確で安定した蒸着速度により、フォトレジスト層はウェーハの前面と背面の両方に均一な厚さであることが保証されます。このツールは、フォトレジスト層の正確なパターニングを可能にする統合された多層マスクと光学を備えた強力な精密光源を備えています。フォトレジストの正確な露出を確保するために、ハードフィルターとソフトフィルターの両方が利用可能です。特許出願中の高度なノズル設計とダイナミックエアフロー技術により、正確で再現性のあるポスト露出ベーク（PEB）が可能になり、接着や剥離などの一般的なウェーハの問題を防ぎます。SEMITOOL 4300 Sには、統合スクリーン分析アセットも付属しています。この高度な機能により、フォトレジスト層の効率的なスクリーニングが可能になり、均一な蒸着と露出が保証されます。この技術は、ウェーハ表面に非侵襲的スキャンを使用することで、フォトレジスト層の小さなバリエーションを検出することができます。4300Sは、ユーザーの柔軟性と信頼性を最大限に高めるように設計されています。これにより、モデルの迅速なセットアップ、クリーニング、メンテナンスが可能になり、幅広いプロセス調整や変更に対応できます。この高度なフォトレジスト装置は、半導体産業のあらゆるフォトレジスト蒸着プロセスに効率的かつ正確なソリューションを提供します。