中古 SEMITOOL 4300 #9116706 を販売中

SEMITOOL 4300フォトレジスト機器は、高度な集積回路の生産を支援するために設計された最先端のプラットフォームです。フォトレジスト成膜、サポート、スピンコーティング、および幅広い基板の開発の効率を高めるために設計された、高スループットのシングルウェハプロセスです。このシステムは、利用可能な最高温度155°Cのプロセスオプションの範囲を提供します。シリコン、ガラス、プラスチックのウエハーなど様々な基板のコーティングに使用できます。単位の特徴は0-1200 RPMの回転速度、300までTorrの最終的な真空圧力および温度の均等性+/-5°Cを含んでいます。マシンにはデュアルポケットのワークフローがあり、2つ目のポケットにはプレコートサイクルがあり、複数のプロセスステップを連続して実行できます。最先端のプロセス機能により、プレコートプロセスに必要な工程数が大幅に削減されます。また、インライン温度コントローラの必要性を排除し、ランタイム中に追加のプロセスステップを必要としません。工具のチャンバーは、プロセスの再現性を確保し、クロス汚染を防ぐように設計されています。軽量アルミニウム製で、長時間の加工で優れた温度保全と酸化防止を実現しています。4300は、さまざまなプロセス制御およびプロセス分析ツールを提供するタッチパッド制御パネルによって制御されます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、さまざまなフォトレジストプロセスのためにアセットを簡単にプログラムおよび設定できます。SEMITOOL 4300は、フォトレジスト製造のための信頼性と効率的なプロセスであり、高スループット業界の製造アプリケーションのための理想的なプラットフォームです。モデルのプロセス制御機能を利用することで、プロセスの精度と一貫性が保証され、製品が一貫した製品歩留まりで最高品質であることを保証します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスで、セットアップ、使用、メンテナンスが簡単です。