中古 SEMITOOL 32AMP #9359482 を販売中

SEMITOOL 32AMPフォトレジスト装置は、200mmウェーハのバッチ処理用に設計された半自動レジスト処理システムです。これは、最も一般的なフォトレジストとの使用に適しており、完全なフィールドとスポット処理の両方を提供しています。32AMPは半自動レジスト加工に最適な幅広い機能を提供しています。再現性と精度のためのコンピュータ制御のシャトルアームとフォトレジストの混合と貯蔵のための20の異なる貯水池が装備されています。これにより、複数の異なるフォトリアクタントを事前に混合することができ、迅速な納期と一貫した結果が得られます。このユニットは、一度に16の200mmウェーハを処理することができ、フルフィールドとスポットサイズの両方の解像度を提供します。機械は人間工学的およびユーザーフレンドリーであるように設計されています。それは可動式、調節可能なフィートおよび維持のためのすべてのシステム部品への容易なアクセスです。すべてのコンポーネントは、ユニットの片側から簡単にアクセスできるように設計されており、ユニットを開くことなく調整することができます。ユーザーインターフェイスには、クイックセットアップと簡単な制御のためのカラーLCDタッチスクリーン、プリセットレシピのデータベースが含まれています。SEMITOOL 32AMPフォトレジストツールは、低ノイズファン、ドライポンプ資産、および排気要件の低減を備えた、最先端のエネルギー効率の高い設計で設計されています。このユニットにはインテリジェントモニターモデルも含まれており、機器ができるだけ効率的に動作し、頻繁なユーザー介入の必要性を減らすことができます。統合トラックシステムは、信頼性と堅牢性の両方に設計されています。ステンレス構造で耐久性を高め、厚さ1。5インチまでのウェーハに対応可能です。ローラーおよびガイドは精密な動きのために設計され、粒子の取除くことを最小にするように設計されています。32AMPフォトレジストユニットは、半自動フォトレジスト処理に最適なソリューションです。最先端の設計、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、信頼性の高いトラックマシンにより、このツールはユーザーの介入を最小限に抑えて一貫した結果を提供することができます。