中古 SEMITOOL 280S #9255444 を販売中

SEMITOOL 280Sは、ウェーハ製造プロセス用に開発されたフォトレジスト機器です。このシステムは、化学的に増幅されたフォトレジストを露出して開発するために使用することができ、タイトなピッチと線幅のリソグラフィープロセスに最適です。HDRIP （High Density Release Imprinting）プロセスに最適化され、高分解能0。5ミクロンの高精度レジストプロファイルを実現します。このマシンには洗練されたUVカメラが搭載されており、プロセス制御に組み込むことで、リソグラフィープロセスの継続的な監視と評価を行うことができます。このツールは、2つのレンズと1つのコンデンサーレンズアセンブリを備えた光学アセンブリを備えています。光学アセンブリを高精度の高分解能位置決めステージに搭載し、XY方向の高精度移動を可能にします。ステージはZ軸でもプログラム可能で、マスクやレンズ下部の正確なアライメント、フォーカスコントロールが可能です。このアセットには、マスクや基板の積み降ろし用の完全自動化されたマスクカセットと、正確な位置と向きを正確に調整できる基板アライメントモジュールもあります。さらに、自動基板オフロード機能とバーコード読み取りによるロボットウェーハ処理を備えています。フォトレジストの開発モデルは、バッチ処理方式を採用しており、適切なレジスト化学に合わせた膨大なレシピ設定を可能にするフォトレジスト処理用のシングルチャンバー設計です。クリーニングガスユニット、薄膜測定機、調節可能な温度・圧力設定を備えた標準ソギネスシステムを搭載し、正確なソギネス開発を実現しています。従来のリソグラフィおよびソギネスシステムに加えて、280Sには底面反射防止コーティング（BARC）モジュールがあり、表面反射率を低減し、パフォーマンスを向上させるためにウェーハの底面に反射防止層を堆積させることができます。このツールは、ベーキング、ソギネス除去、酸素または窒素アニーリングなどの開発後の治療にも使用できます。アセットのソフトウェア制御モデルにより、ユーザーは開発レシピをカスタマイズし、プロセス全体を監視することができます。それはまた、問題を診断し、リモートメンテナンスを実行するために、任意のインターネット対応コンピュータからアクセスすることができ、リモート診断および修復機器を持っています。プロセス全体をシンプルなグラフィカルユーザーインターフェイスで制御および監視できます。全体的に、SEMITOOL 280Sは、0。5ミクロンのピッチ範囲内で正確なフォーカス制御を行う高品質のリソグラフィを製造することができる、強力で有能なフォトレジストシステムです。高度な自動ウェーハハンドリングユニットと、プロセス監視と評価のための洗練されたUVカメラが付属しています。この機械は、ソギネス除去、ベーキング、アニーリングなどの開発後の治療にも使用できます。さらに、特定のレジストケミストリーの結果を最適化するためにカスタマイズできるモジュラーソフトウェアツールを備えています。