中古 SEMITOOL 280S #9123938 を販売中

SEMITOOL 280S Photoresist Equipmentは、低温での表面の高解像度エッチングとイオンビームエッチングに最適化された高度なプラットフォームです。これは、高精度機能の処理のパフォーマンスと精度を向上させるための高度な機能のスイートをユーザーに提供します。280Sフォトレジストシステムは、MCR （Multi-Chamber Resistance Chromatography）イオンビーム蒸着ユニットを備えた真空加工チャンバー上に構築されています。これにより、均一な形態的カバレッジと優れた品質を持つ非常に薄い高解像度フィルムの製造が可能になります。MCRはプロセスが安定していることを保障するのに使用され、反復可能フィルム厚さが正確に制御することができます。SEMITOOL 280Sには、イオンビーム電流とさまざまなイオンエネルギーを完全に制御するためのソフトウェア、コントローラ、ドライバ、および光学アシスト電極制御の範囲が装備されています。これにより、多層構造の正確なアライメントが可能になり、フィーチャーサイズを正確にエッチングできます。機械に1。1棒の低いおよび200°Cからの13mbarおよび400°Cまで高いまで温度および圧力設定の広い範囲があります。これにより、エッチング中に高い温度を必要とするものを含むさまざまなアプリケーションでツールを動作させることができます。280Sはまた処理された表面の質を改善できる最小にされた粒子の発生および酸化を提供します。SEMITOOL 280S、エッチング中にチャンバー内に存在する汚染物質の数を減らすために設計されたさまざまな細胞から利益を得ています。これにより、ユーザーはより信頼性の高いクリーンルーム環境を提供し、露出した機能をより大きな制御できます。さらに、この資産は、使いやすいメンテナンス機能の範囲で設計されており、保守性を向上させるのに役立ちます。結論として、280S Photoresist Modelは、低温での表面の高解像度エッチングとイオンビームエッチングに最適化された高度なプラットフォームです。温度と圧力設定の広い範囲、MCRイオンビーム蒸着装置、光学アシスト電極制御およびセルは、チャンバー汚染を低減するために設計されており、高品質で正確にエッチングされた機能を生産するのに理想的です。