中古 SEMITOOL 280S #151758 を販売中

SEMITOOL 280S
製造業者
SEMITOOL
モデル
280S
ID: 151758
ウェーハサイズ: Up to 8"
Spin rinse dryer, up to 8".
SEMITOOL 280Sは、フォトレジストの薄膜を基板に開発、適用するために使用されるフォトレジスト機器です。これは、最も要求の厳しいフォトリソグラフィ要件を満たすように設計された高性能システムです。このユニットは、再循環トレイ、回転ウェットテーブル、LCDモニター、基板位置決め用の2つのステージなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。さらに、280Sには、フォトレジスト処理を最適化し、詳細な解析を実行するためのいくつかのソフトウェアモジュールが含まれています。ウェットテーブルとして機能する再循環トレイは、最大4つの基板カセットを同時に収納でき、効率的な加工が可能です。トレイは、フォトレジストフィルムの均一なアプリケーションを支援し、各基板を保持し、穏やかに回転します。LCDモニターは、マシンを制御するユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供し、レジストアプリケーションと開発パラメータを正確に調整できます。さらに、モニターは、品質管理のための液体フォトレジストの様々な分析データと視覚的な追跡を提供します。さらに、基板の位置決めのための2つの段階は、コンポーネントの正確なアライメントと配置を容易にします。ステージは、3次元平面内で調整することができ、正確な配置を確保するために高解像度センサーを採用しています。SEMITOOL 280Sには、結果を最大化し、一貫性を確保するためのさまざまなソフトウェアモジュールも含まれています。PathTracerは最適化されたフィルムのバッチを作成するために使用できるプログラムですが、QFloは時間の経過とともにフォトレジストの特性を測定および監視するために設計された分析ソフトウェアスイートです。ECDBモジュールは、パフォーマンスの追跡や特定の基板の設定のカスタマイズなど、詳細なデータベース管理を可能にします。フォトレジストツールは、正確かつ再現性のある結果を作成するために必要な機能を備えており、MEM、 LED、 IoTデバイス製造など、多くのアプリケーションに適しています。さらに、コンパクトで使いやすい資産であり、実験室、品質管理、研究環境に最適です。
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