中古 SEMITOOL 280F #9105785 を販売中

SEMITOOL 280Fは、化学機械研磨（CMP）、ウェーハプランアライゼーション、およびポストCMPウェットエッチングクリーニングプロセス用に設計されたフォトレジスト機器です。システムの高度な機能とソフトウェアは、ユーザーに簡単な操作と一貫したプロセスパフォーマンスを提供します。このユニットには、さまざまなフォトレジスト材料用の正確で長寿命の複合プランジャーディスペンスマシンが装備されています。また、安全なメンテナンスと操作のための連動ドアツール、プロセスの温度制御のためのキャリブレーションされたサブアンビエントプレンチャンバー、使用ポイント制御とデータロギングのためのオンボードコンピュータも備えています。280F資産には、メンテナンスと簡単なツールキャリブレーションのための人間工学に基づいた設計があります。このモデルのモジュラー設計により、ユーザーは変化するニーズに合わせて簡単に構成を拡張できます。また、有害物質管理装置、ほこりや空気中の粒子を除去するための密閉環境、システムの安全性を向上させる窒素パージ機能など、標準的かつ現場で自動化された安全対策も含まれています。SEMITOOL 280Fは、手動、半自動、および完全自動化されたCMPプロセスのための幅広い機能とオプションを提供します。このユニットは、高効率の材料ポンプを備えており、固定速度で化学物質を供給し、材料を供給するための温度制御、および基板スタックを正確に制御するための調整可能な速度ベルトを備えています。さらに、プリウェット/ポストリンスウェーハの清潔操作にも対応しています。また、タンク充填が容易な自動充填ステーションと、ウェーハの正確な取り扱いを確保するためのウェーハトラッキングツールも備えています。280F資産には、市場をリードするモデルアップグレードオプションもあります。このアップグレードにより、ウェーハ検出用の統合光学センサや流量制御などの機能が強化されました。さらに、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）、ソフトウェアベースのプロセス設定と最適化、およびコントローラを介して複数のユニットをリンクする機能を提供します。要約すると、SEMITOOL 280Fフォトレジストシステムは、手動、半自動、および完全自動化されたCMPプロセスの幅広い機能とオプションを備えた高度で人間工学に基づいた安全な設計をユーザーに提供します。高効率、高精度の材料ポンプ、材料配送用温度制御、精密基板移動のための調整可能な速度ベルト、およびユニット性能を向上させるための統合された光学センサと流量制御を備えています。このマシンはまた、ユーザーフレンドリーなGUI、ソフトウェアベースのプロセス設定と最適化、およびコントローラを介して複数のユニットをリンクする機能を提供します。