中古 SEMITOOL 280F #151759 を販売中

SEMITOOL 280Fは、SEMITOOL社が製造したフォトレジスト機器です。半導体加工・製造、医療機器製造、材料研究など、さまざまな産業で使用されています。フォトレジストシステム280F、 2コートのフォトレジストプロセスで使用するために特別に設計されています。つまり、パターン化されたレイヤーを作成するために、2層のフォトレジストがウェーハに適用されます。このユニットは信頼性が高く、パターンの均一性とフィーチャーコントラストに関しては優れた精度を提供します。SEMITOOL 280Fには、カセット・ツー・カセット・トラックが統合されています。これにより、特殊ツールを使用せずにウェーハをロードおよびアンロードすることができます。このマシンには、1分間に最大2,400回転の速度でウェーハを回転させることができるモーター付きスピンチャックも内蔵されています。さらに、化学廃棄物を最小限に抑えながら、最適なスプレーカバレッジを提供するように設計されたデュアルヘッドスプレーノズルを備えています。このツールには、赤外線照明を使用してフォトレジストのパターンと均一性を確認する統合された最先端のビジョンアセットもあります。フォトレジストコーティングプロセスに関しては、精度と再現性を確保し、統合されたケミカルデリバリーモデルを備えています。280Fは、2コートフォトレジストを必要とするプロセスや、高スループット生産ラインを扱う企業に最適です。それは信頼できる、反復可能な結果と結合される優秀な両立性および性能を提供する非常に有効な装置です。自動化された機能、統合された機能、繰り返し可能なプロセスを備えたSEMITOOL 280Fは、市場で最高のパフォーマンスを発揮するシステムの1つです。