中古 SEMITOOL 270S #293811564 を販売中

SEMITOOL 270Sは半導体製造用に設計されたフォトレジスト装置です。ウェーハを保護フィルムでコーティングする自動化システムです。このユニットは、ロボットアームを使用してフォトレジストを適用し、均一な膜厚とカバレッジを確保するための多くの機能を備えています。ロボットアームを制御するサーボパックマシンソフトウェアは、適切な膜厚を確保するためにロボットの動きをプログラムするために使用されます。また、精密アプリケーションのためのロボットの動きを微調整し、動作中のロボットのパフォーマンスを監視するための機能を備えています。直径300mmまでのウェーハ加工が可能で、メンテナンスやアップグレードが容易なモジュラー設計が特徴です。また、均一な膜厚を確保するために、迅速かつ正確にウェーハを揃えるように設計されたデュアルウェーハアライメントプレートを備えています。これにより、半導体製造に必要な精度がアセットになります。SEMITOOL 270-Sは、汚染防止に役立つ「真空ロック」も備えています。これは、ウェーハを処理している間、フォトレジストやその他の化学物質をチャンバーから排除するのに役立つ安全機能です。真空ロックを作成するために使用されるポンプは信頼性が高く、一貫した真空レベルを提供します。このモデルには、最適な動作温度を維持し、フォトレジストの熱分解を防ぐための温度コントローラも含まれています。温度調節器は均一なフィルム厚さおよび適用範囲を保障するのを助け、また急速な冷却によって引き起こされる損傷から装置を保護するのを助けます。270Sは、加工中にフォトレジストを照射するための高度なLED照明装置を使用しています。これは、一貫した露出レベルを確保するのに役立ち、フォトレジストの正確な結果を確保するのに役立ちます。最後に、システムは、緊急シャットダウンボタンや警告灯などの安全機能を備えており、操作の安全性を確保するのに役立ちます。これらの機能は、不適切な使用による損傷から機器や人員を保護するのに役立ちます。全体として、270-Sは半導体製造に使用するために設計された信頼性の高い効果的なフォトレジストユニットです。