中古 SEMITOOL 270S #293811484 を販売中

SEMITOOL 270S Photoresist Equipmentは、シリコンウエハーのエッチングおよびパターニング時に精度と精度を提供するために設計された技術的に高度なシステムです。単位は2つの主要な部品から成っています：プロセス部屋および発電機。プロセスチャンバーには、HM/CMPモジュールとフォトレジストピールオフモジュールという2つの高度なエッチング/ストリップモジュールがあります。どちらのモジュールも、優れたプロセス制御、再現性、および高度な結果を提供するように設計された特許技術を備えています。HM/CMPモジュールは、高精度、高い再現性のエッチング、成膜、研磨機能を提供します。5軸ウェーハキャリア、デュアル周波数キャパシタンスピックアップセンサー、非常に反応性の高いエッチガス分配機、調整可能なガス流量/圧力環境など、洗練されたコンポーネント群で構成されています。フォトレジストピールオフモジュールには、高度なデジタル露光ツール、高解像度デジタル焦点アセット、紫外線（UV）ソース、熱暖房装置が含まれています。表面フォトレジストとディープパターンエッチングに、信頼性の高い正確な露出とエッチング機能を提供するように設計されています。SEMITOOL 270-S Photoresist Modelのジェネレータコンポーネントは、プロセスチャンバーによる湿式化学処理に最適な高速低ノイズ電圧を提供するように設計されています。DCおよびAC電圧を含む幅広い電源オプションを備え、PCインターフェース制御をサポートしています。装置の発電機はまた、優れたノイズ遮断と高い精度を提供する、細心のシールドで設計されています。全体として、270Sフォトレジストシステムは、今日の最先端のシリコンウェーハのエッチングとパターニングのための信頼性が高く、強力で正確なツールです。高度なプロセス制御、高い再現性、および優れた精度により、最も要求の厳しいアプリケーションに最適なツールです。