中古 SEMITOOL 270S #293590455 を販売中

SEMITOOL 270Sは、大量の半導体製造に最適なフォトレジスト機器です。事前に製造されたセラミックチャックと、最適な耐薬品性、温度の均一性、粒子制御のためのカスタム加工アルミキルを備えた革新的なスピナー設計を利用しています。SEMITOOL 270-Sは、さまざまなフォトレジスト加工ニーズに対応する複数のカセットオプションを提供しています。4×5インチカセットの標準設計、より小さなコーティングのための標準的なE-maxカセット、高精度の超高スループットのための高度な10カセットです。内部および外部のウェーハハンドリングアクセサリーは、機能と利便性を向上させるために利用できます。270Sは高度な化学制御システムを備えており、ユーザーは濃度、温度、時間、スピンおよびリンス速度、およびその他のパラメータを正確に制御できます。ユニークなウェーハリフト機構が標準であり、必要に応じてウェーハ全体を上下させることができます。スピンおよび/またはリンス速度はパネル上でプログラムすることができ、またはダイレクトドライブモータを使用して独立した均一なスピンレートを提供することができます。270-Sには、プレス・ツー・スピン、スピン・オン・デマンド・インターロック・スイッチ、洗浄タンク、スピンタンク・オーバーフロー・センサーなどの複数の安全機能が装備されており、貯水池が一定のレベルを超えると自動シャットオフ・ユニットが装備されています。船上の窒素機械はまた酸化の危険を減らすのを助け、閉鎖したループの温度調整用具はローカライズされたホットスポットおよび表面温度の変化を除去します。SEMITOOLには、重要な温度、速度、およびその他の操作変数を監視する高度な診断システムも含まれています。SEMITOOL 270Sフォトレジストの資産は、最新の半導体製造のための信頼性が高く効率的なツールです。SEMITOOL 270-Sは、高度な安全および化学制御システム、厳格なスピンおよびリンス機能、およびオンボードモニタリング機能を備え、要求の厳しい生産ニーズに対応する最高品質のフォトレジスト処理を提供します。