中古 SEMITOOL 270S #178056 を販売中

SEMITOOL 270S Photoresist Equipmentは、半導体リソグラフィ加工の最新市場の需要に対応するために設計された高性能ウェーハ加工ツールです。このツールは、さまざまなフォトマスク、基板、コーティングで最大150mmのウェーハを処理するために設計されており、エッチング、イオン注入、注入、その他の高度なプロセスなどのリソグラフィープロセスに最適です。SEMITOOL 270-Sは、7軸ロボット位置決めシステムと4軸ストップモーションユニットを備えており、どちらも最適なプロセスを保証するためにコントローラと接続されています。機械全体がモーションコントロールコンピュータとオペレータインターフェイスと統合されています。コンピュータはオペレータがさまざまなロボットモーターを操作することによって遠隔に機械を制御することを可能にします。一方、Operator Interfaceを使用すると、オペレータはプロセスの進行状況を監視し、特定のパラメータを調整することができます。ウェーハ加工に関し270Sは、露光、スピンおよびスプレーコーティング、プレベークおよびポストベーク、裏面洗浄およびコーティング、および露出後のベーク操作を効率的に管理することができます。このツールは、毎秒最大180ワットの速度で実行でき、それに応じてプログラムすることができます。また、プロセス制御をさらに強化するための高度な自動補正アセットも備えています。安全性とセキュリティの観点から、270-Sは多くの重要な機能を通じて高いレベルの制御と自動化を提供します。このモデルには高度なセキュリティプロトコルが付属しており、機械の不正な移動や変更を防ぎます。さらに、ロボットモータには安全インターロックが装備されており、機器全体が最も厳しい火災安全要件を満たすように設計されています。要約すると、SEMITOOL 270S Photoresist Systemは、半導体リソグラフィ処理の最新の要件を満たすように設計された信頼性が高く、強力で効率的なウェーハ処理ツールです。それは高いレベルの安全、正確さおよび制御を提供し、高度のコンピュータおよびオペレータインターフェイスは遠隔プログラミングおよび監視を非常に容易にします。