中古 SEMITOOL 270S #151767 を販売中

SEMITOOL 270Sは、超高精度フォトレジストコーティング用に特別に設計された洗練された自動フォトレジストスプレーコーターです。モジュラー設計を採用し、柔軟性を最大限に高め、お客様のさまざまなニーズに合わせて構成することができます。SEMITOOL 270-Sは、均一で反復可能な膜厚で広い領域をコーティングするように設計されており、同時または順番に最大4つの異なるフォトレジストタイプに対応できます。センサーと制御システムを一体化しており、信頼性の高い運用を実現しています。270Sフォトレジストスプレーコーターには、コンピュータ制御のマルチゾーンプロセスチャンバーが装備されており、アプリケーションプロセス中にさまざまなパラメータを正確に制御するために調整することができます。このチャンバーは、コンピュータ制御の調整可能なボリュームチャンバーと動圧センサーを備えており、均一な厚さを確保しています。ボリュームチャンバーには、自動補充システムがあり、化学タンクを自動補充し、時間の経過とともに荷室内の均一な抵抗濃度を維持します。270-Sはまたコーティングのバッチ間の部屋をきれいにするための窒素の掃除機を含んでいます。SEMITOOL 270Sフォトレジストスプレーマシンは、高度なサーボ制御スプレーガンで設計されており、フォトレジスト材料を正確かつ再現可能に適用できます。ノズルは、酸化と欠陥形成の最小限の均一なフィルムを適用するように設計されています。ノズルには、回転スピナーアセンブリが可変幅の同心リングに取り付けられており、ライン幅が異なる均一なコーティングを生成するように調整することができます。さらに、このツールはマルチノズル構成を使用しており、複数の基板を同時に処理できます。SEMITOOL 270-Sフォトレジストスプレーコーターは、柔軟で直感的なプログラミングのためのユーザーフレンドリーでグラフィカルインターフェイスを備えています。これにより、コーターのパラメータ、セットアップ、操作を簡単に制御できます。さらに、ステップアンドリピート技術を活用し、基板全体に一貫したコーティングパターンを確保し、高効率を実現しています。最後に、270Sには、ダウンタイムを最小限に抑え、適切な動作と継続的な機能を確保するメンテナンスモードが装備されています。