中古 SEMITOOL 270F #151770 を販売中

SEMITOOL 270Fは、主に半導体製造に使用されるフォトレジスト機器です。このツールは、対流ベークモジュールとドライストリップモジュールを備えた自己完結型レジスト処理システムを備えています。270Fのコンベアモジュールは、ウェーハをステップからステップへシームレスに移動させ、ウェーハの手動処理の必要性を低減します。このモジュールは、ウェハハンドラインターフェイスツールへの潜在的な損傷を排除するセキュリティクランプユニットを使用しています。ベークモジュールは、2つの高温チャンバー、過熱検出器、コンベヤーベルトで構成されています。上部と下部のオーブンの温度は、独自に設定し、最適な処理のためにプログラムすることができ、統合された過熱検出器は、セキュリティを確保し、損傷を回避します。SEMITOOL 270Fのドライストリップモジュールは、1つのロープロファイルカセットで設計されており、最大19個のウェーハを一度に収容できます。この機械は粗い化学環境への最低の露出時間の高速、均一および一貫したストリップの質を提供します。ストリップモジュールには、安全ストリップガスと化学検出ツールも備えており、人員や機器を過度の害から保護します。270Fアセットは、3ポジションドアスイッチ、プログラム可能な排気ファン、およびBatch Mateデータ取得を備えたクリーンルーム対応エンクロージャに収納されています。このモデルは、プロセスレシピの完全な柔軟なオフラインプログラミングと評価を可能にし、お客様の既存のオートメーション環境に統合することができます。さらに、SEMITOOL 270F装置には、校正、メンテナンス、セキュリティのための組み込みサービスがあります。全体的270F、半導体の製造のための優れたフォトレジストとドライストリップ処理を提供するように設計された高度なフォトレジストシステムです。このユニットは、プロセスの制御を改善し、プロセスのパフォーマンスを向上させることにより、歩留まり、信頼性、コスト削減を大幅に向上させることができます。