中古 SEMITOOL 270 #9036302 を販売中

SEMITOOL 270は、信頼性の高い物理蒸着（PVD）およびエッチングプロセス用に設計された完全自動フォトレジスト装置です。集積回路製造、MEMS、ナノテクノロジー、薄膜蒸着に高度な材料蒸着機能を提供します。270は、物理蒸着（PVD）、エッチング、アニーリングプロセス、および化学機械処理（CMP）の最先端の自動制御を提供します。このシステムは、高度なRFプラズマソース、ロバストロボットハンドリングユニット、in-situ加熱、統合された前駆体、および強力なポストプロセス診断を備えています。SEMITOOL 270には多機能プロセスチャンバーが搭載されており、AL、 Cu、 TiN、 ITOなど多種多様な材料で高い成膜速度を提供できます。統合されたロボットハンドリングマシンは、シングルターンモードとマルチターンモードの両方で最大30ウェハを一度に処理できます。これにより、ツールの効率が向上し、高いレベルのプロセス柔軟性が得られます。270はまた、低温、低圧蒸着を可能にする堅牢なRFプラズマ源を備えています。このプロセスはアルミニウム基板と互換性があり、高品質の材料層を達成することができます。このオプションは、堆積プロセスの正確な制御が必要な状況に最適です。SEMITOOL 270に内蔵されたin-situ加熱アセットにより、エッチングおよび蒸着プロセス中の正確な温度制御が可能です。このモデルは、ウェーハ全体に均一な温度分布、低熱拡散、および一貫した温度を提供します。この機能により、再現性のある加工が可能になり、エッチングおよび蒸着アプリケーションでの再現性が向上します。270には、プロセスチャンバーへの前駆体の自動投与と貯蔵を提供する統合された前駆体も含まれています。この機能により、手動処理の必要性を低減し、無駄を最小限に抑えます。また、この装置には強力なポストプロセス診断機能が搭載されており、沈着プロセス中および沈着プロセス後のプロセス結果を包括的に分析できます。これにより、ウエハラン全体で一貫した画層品質が保証されます。結論として、SEMITOOL 270は、集積回路製造、MEMS、ナノテクノロジー、薄膜蒸着のさまざまなアプリケーションに最適な堅牢な機能と機能を提供する高度なフォトレジストシステムです。このユニットの多機能プロセスチャンバー、統合ロボティクス、RFプラズマソース、in-situ加熱機、統合前駆体、およびポストプロセス診断がすべて集まり、信頼性が高く正確で均一な結果を提供します。