中古 SEMITOOL 270 #77035 を販売中

SEMITOOL 270は、半導体デバイスの製造に使用されるフォトレジストシステムです。複数のプロセスモジュールを使用して高精度フォトリソグラフィを提供する専用システムです。マスクアライナー、アプリケーター、開発ステーション、レジストストリッピングステーションが含まれています。マスクアライナーモジュールは、マスクとウェーハの関係を制御し、正確なパターン登録を保証する機能を提供します。フォトレジスト被覆基板に画像パターンを投影するための光学アセンブリを使用しており、設計に正確に対応するパターンが得られます。さらに、マスクアライナーはステップアンドリピート機能を備えており、異なる形状やサイズの複数のパターンを1つの基板に配置できます。フォトレジストアプリケータは、フォトレジスト材料を基板表面に均一な層で供給するために使用されます。均一な膜厚の自動制御、スループットの向上、光干渉の低減を実現しています。このアプリケーターは、フォトレジストの複数の層を適用したり、異なる膜厚のパターン層を宣伝するためにも使用できます。270は、露出していない領域からフォトレジストを除去するために使用することができる開発ステーションを含みます。その高解像度ノズルは、フォトリソグラフィープロセスの時間を短縮することができ、正確で指示された化学エッチングパターンを提供することができます。高速処理用のデジタルポンプと、精密な液体供給用のデジタル圧力制御を備えています。開発したフォトレジストを表面にエッチングして希望のパターンを形成することができます。最後に、レジストストリッピングステーションを使用して、基板から露出していないフォトレジストを除去します。ネガティブトーンフォトレジストの残留物を除去し、反復可能な結果を得るのに効果的です。それは電子ビームによって監視されるウェーハのクリーニングステーションはすべてのフォトレジストが効果的に表面から取除かれることを保障します。SEMITOOL 270は、半導体デバイスの製造を容易にするための完全なフォトレジストシステムを提供します。その機能は、これらのコンポーネントの製造のための正確で自動化されたフォトリソグラフィを提供するように設計されています。その柔軟性と利便性により、多種多様な基材の効率的な加工が可能です。