中古 SEMITOOL 270-ST #293663744 を販売中

SEMITOOL 270-STは、光に敏感なフォトレジストをウェーハの表面に堆積させるために設計された化学イメージング装置です。このシステムは、ユニークなアプローチを利用して、均一で制御された方法でウェーハの表面にフォトレジストを適用します。このユニットは、プログラマブルリニアステージを使用して、イメージングオプティクスの下にウェーハを移動させます。特許取得済みの「Button Spacing」デザインを使用して、270-STはターゲットのウェーハ表面に非常に細かいフォトレジストを均等に分散させます。このマシンは、スタンドアロンモードで使用するか、SEMI準拠の生産環境に統合できます。SEMITOOL 270-STは、正確かつ一貫してフォトレジストを適用するために、滴定可能なツールを使用しています。このアセットにより、ユーザーのアプリケーション要件を満たすために、さまざまな膜厚のフォトレジストをウェーハに正確に供給することができます。このモデルは、専用のエポキシ系システムや汎用シリコーンベースのシステムなど、さまざまなフォトレジスト材料と互換性があります。この装置は、フォトレジストの測定可能な厚さを正確に計算し、正確に提供する業界をリードする機能を備えています。このシステムは、0。5 μ m〜30 μ mの範囲で調整することができます。このレベルの柔軟性により、対象アプリケーションの全範囲の要件を満たすことができます。このマシンには、自動ウェーハセンタリングとフィーチャー認識システムが装備されています。これらの機能により、ウェーハ上の個々の特徴を特定し、ウェーハを正しく向き、フォトレジストを目的のターゲット領域に正確に適用できます。270-STの高度なミスアライメント・トレーニング・アセットにより、フォトレジスト蒸着の一貫性がウェーハ表面全体にわたって維持されます。このモデルは、さらに機能性を高めるために、カスタム統合ソフトウェアツールのスイートと統合することもできます。SEMITOOL 270-STのパフォーマンスは、その安全機能によってさらに強化されています。ウェーハの損傷や摩耗を防ぎ、有害な化学物質にさらされるリスクを低減する統合安全システムを備えています。結論として、高度な270-STは、ウェーハ表面にフォトレジストを正確かつ均一に配信するために設計された業界をリードするフォトレジストシステムです。特許取得済みの「ボタン間隔」技術を使用して、ユニットは0。5 μ mから30 μ mの範囲でフォトレジストを適用することができます。自動化されたウェーハセンタリングと認識システムを備えており、正確かつ一貫した成膜が可能です。このマシンには、統合された安全機能と、そのパフォーマンスをさらに向上させるさまざまなカスタムソフトウェアツールが装備されています。