中古 SEMITOOL 260 #82972 を販売中

SEMITOOL 260は、高度なフォトレジストストリップ機器です。半導体基板からフォトレジストを除去するための、自動化されたワンステップで経済的なシステムです。このユニットは、厚さ（>0。25 μ m）、薄さ（<0。25 μ m）、または多層フォトレジスト用途の精密クリーニングとエッチングを、穏やかで均一なプロセスで提供します。260マシンは、酸濃度、すすぎ水温、ホールド時間、ストリップサイクル期間など、フォトレジストクリーンサイクル全体を正確に制御するための革新的な技術を採用しています。このツールには、4タンクのクローズドループ循環アセットが搭載されており、ユーザーが選択可能なクリーニングとエッチング速度を備えています。これは、高度な単相エッチング処理を利用して、フォトレジスト層の優れた除去を可能にします。SEMITOOL 260オペレーティングソフトウェアは、洗浄性能を向上させ、プロセス中のエラーを最小限に抑えるように設計されています。ソフトウェアは、オペレータが特定の基板要件に応じてクリーンサイクルを最適化することを可能にするカスタマイズ可能なツールのコレクションを備えています。また、連続したクリーンを自動化し、定期的なアラームとプログラム可能な起動/シャットダウン時間を設定できます。このモデルは、オペレータが最適なクリーンな結果を得るために、タップとリバースタップサイクルを正確に制御することを容易にします。リバースタップサイクルは、残留ストリッパーを減らし、ウェーハ表面から水をすすぎ、より高いクリーニング品質につながります。また、2つの密接に監視された酸タンクとクリーンサイクルタンクを使用しています。安全のために、260システムは高度な安全ユニットで設計されています。このマシンは複数のセンサーとモニターを備えており、プロセスパラメータを連続的かつ継続的に監視できます。このツールはまた、有害な化学物質への偶発的な曝露を防ぐ分離された洗浄チャンバーと、一貫したクリーンな結果を得るためにpHレベルを監視および維持するユニークな酸制御アセットを利用しています。信頼できる性能に加えて、SEMITOOL 260モデルも使いやすいように設計されています。シンプルで簡単な操作コントロールと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が付属しています。ユーザーインターフェイスにより、個々のアプリケーションに合わせてパラメータを簡単に設定および調整できます。さらに、最高品質のフォトレジスト除去結果を確保するのに役立つセルフクリーニング機能を備えています。