中古 SEMITOOL 260 #82968 を販売中

SEMITOOL 260は、半導体デバイスを製造するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、最高レベルの精度と信頼性を提供する高度な機能を備えています。このユニットは、最高品質のデバイス製造のための最高の精密フォトレジスト分配とコーティング、パターニング、検査を組み合わせています。260はフォトレジストアプリケーション用の最先端の自動化プロセスを備えています。高解像度ディスペンシングおよびコーティングヘッドは、5〜50ミクロンのサイズのノズルを備えており、フォトレジストを正確かつ効率的に適用できます。機械のノズル配置により、材料の不均衡を最小限に抑え、パターニング工程で優れた形状形成を実現し、より高い歩留まりを実現します。SEMITOOL 260には、正確なパターン転送のための高解像度パターニングツールが含まれています。この資産は、広いパターンパラメトリックウィンドウ、高速パターニングと統合されたプログラム可能なパターンレイアウトを誇っています。パワフルな電動アライメントと位置決め機能により、正確なパターン制御とパターン配置精度を実現します。さらに、自動レーザースキャナ構成により、精度、再現性、信頼性に優れ、精密なウェーハとダイのアライメントを提供します。260のもう一つの重要な特徴は、品質検査モデルです。高解像度CCDカメラ、レーザースキャナ、3Dトポロジカルプロファイリング顕微鏡など、包括的なセンサスイートを備え、最高レベルのデバイス品質を保証します。3Dトポグラフィックマッピング機能とマルチセンサー自動補正機能を備えた統合測定ソフトウェアは、追跡可能な結果を使用して正確かつ再現可能なプロセス制御を可能にします。SEMITOOL 260はまた、そのプロセスモジュールの柔軟性とユーザーフレンドリーなレシピのセットアップと制御で柔軟な処理機能を提供します。また、ウェハローディング、ウェハデマンドベースのローディング、大容量チャンバのローディングなどの機能を備え、効率とスループットを最大限に高めるように設計されています。全体的に260は信頼性が高く効率的なユニットであり、正確で反復可能なフォトレジストアプリケーション、パターニングおよび検査を提供することができ、最高品質のデバイス製造に最適です。