中古 SEMITOOL 260 #82966 を販売中

SEMITOOL 260は、集積回路を開発する最先端のツールであるSEMITOOL、 Inc。のフォトレジスト機器です。ハイブリッドマイクロ回路、半導体デバイス製造、薄膜成膜/エッチング/フォトリソグラフィー、その他のマイクロエレクトロニクスデバイスプロセスなどのアプリケーションのためのシリコンおよびデバイス構造上のレジスト層を処理するためのプラットフォームです。260は、ユーザー固有のアプリケーションニーズに合わせて、幅広いコンポーネントとアップグレードで構成できる汎用性の高いプラットフォームです。これは、Ar、 CF4、 O2、 SF6、 N2などの幅広いプロセスガスとの互換性を提供する、囲まれた、環境に優しいチャンバーの周りに構築されています。すべてのプロセスパラメータはデジタルコントローラを介してプログラム可能で監視され、チャンバー環境は精密な温度と圧力レベルを維持するために洗練されたPIDコントローラを使用して制御されます。SEMITOOL 260は、高度なレジストディスペンスシステムと薄膜蒸着機能も備えています。レジストディスペンスユニットは、フォトレジスト材料を幅広い厚さと形状で正確に供給することができます。薄膜成膜機は、多種多様な薄膜を多種多様な厚み・特長サイズで成膜することができます。薄膜成膜チャンバーは、ポリマー、金属、誘電体のさまざまなセラミックターゲットで構成することができ、特定の用途のニーズを満たすことができます。260には、電動ウェーハジグや自動ウェーハハンドリングツールなど、さまざまなプロセスサポートツールも含まれています。ウェーハ治具は、加工中のウェーハの精密な操作を可能にし、ウェーハ登録の精密な調整を提供します。自動化されたウェーハ処理アセットは、サイクルごとに最大12個のウェーハを処理でき、温度制御された正確な転送ステーションを備えています。SEMITOOL 260はULリストされており、適用されるすべての業界および安全基準に準拠しています。そのモジュール構造の設計は簡単な取付けおよび使用を可能にします。このユニットはPCとPLCに対応しており、セットアップと操作を簡素化するソフトウェアが付属しています。ソフトウェアはまた、ユーザーが迅速かつ効率的にプロセスをテスト、分析、最適化することができます。