中古 SEMITOOL 240S #85326 を販売中

SEMITOOL 240Sは、優れた均一性、不動態化、および接触計測プロセスを提供するように設計されたフォトレジスト機器です。それは一貫した、信頼できるフォトレジストの処理を保障する特許を取られた技術を特色にします。システムには、統合された安全機能を備えたウェットベンチが含まれています。ウエハの平坦性と再現性を維持した独自のウエハ搬送ユニットを採用しています。プロセッサは、高度なスプレーノズル、サンプルホルダー、ディップカップの設計と、汚染のない環境を使用して、正確なレジストコーティングを保証します。フォトレジストプロセッサには、自動レジスト充填機と温度制御イマージョンプロセスが搭載されており、最適な結果が得られます。このツールには、特許取得済みのデュアルチャンバースピナーを備えたスピンコーターも含まれています。フォトレジストの均一な塗布のための専用スプレーチャンバーを備えています。これにより、レジストの厚さ、スピン速度、スピン数を正確に制御できます。このアセットは、露出したウェーハを化学腐食や酸化から保護するためのパッシベーションチャンバーも備えています。スピンコーターに加えて、240Sには抵抗パターンの均一性と接触抵抗性を測定するための接触計測モデル（CMS）も含まれています。この装置は、渦電流技術、測定ヘッド、特許取得済みのデュアルレンジ電流センサを組み合わせて、正確で正確な測定を提供します。全体として、SEMITOOL 240Sは、ウェーハ処理における正確で高品質な結果を得るための理想的なフォトレジストシステムです。その高度な機能により、均一なレジストカバレッジ、正確な接触計測、露出ウェーハの信頼性の高いパッシベーションが可能になります。さらに、完全な自動化および温度制御プロセスを提供し、一貫性のある結果を保証します。