中古 SEMITOOL 240F #151785 を販売中

SEMITOOL 240F
製造業者
SEMITOOL
モデル
240F
ID: 151785
ウェーハサイズ: Up to 4"
Spin rinse dryer, up to 4".
SEMITOOL 240Fは、精度、再現性、信頼性を重視した半導体メーカー向けのフォトレジスト機器です。この次世代システムは、湿式および乾式フォトリソグラフィープロセスのプロセス制御を強化します。240Fにより、ユーザーはリソグラフィープロセスを完全に制御できます。その統合されたプログラマブルタイマーは、ユーザーが露出時間を正確に制御することができます。デジタルモニターにより、フォトリソグラフィープロセス全体の可視化が可能になり、ユーザーはプロセスをリアルタイムで監視できます。Ebeam照明により、ウェーハの均一性を確保し「、スマートスキャン」機能により、生産中の欠陥を迅速かつ正確に検出できます。SEMITOOL 240Fは、ユーザーの高度な基板処理および転送機能も提供します。6軸ロボットアームは、光軸に対して基板を正確に配置して転送します。真空およびフィルターユニットは、フォトレジスト層の完全性を確保し、欠陥を最小限に抑えます。この機械は最高の効率のために設計されています。ウェーハダイシングチップ(WDC)とウェーハクリーニングロボット(WCR)を採用しています。どちらの機能も手作業による介入の必要性を減らし、ユーザーはプロセスを合理化して生産を増やすことができます。240Fはまた、安全性と環境の持続可能性のために設計されています。その安全機能には、内蔵の過熱センサー、危険な化学レベルを検出するモニター、温度変化を防ぐための専用冷却チャネルなどがあります。排気ツールは排気を効率的に濾過・再循環させ、排出量を大幅に削減します。全体として、SEMITOOL 240Fは、最高水準の精度、再現性、信頼性を満たすように設計された高度なフォトレジスト資産です。フォトリソグラフィープロセスを最大限に制御し、効率、安全性、環境の持続可能性を向上させます。
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