中古 SEMITOOL 240 series #85324 を販売中

SEMITOOL 240シリーズは、フォトリソグラフィのプロセスを容易にするために特別に設計されたフォトレジスト加工装置です。設計情報からクリーンで堅牢なフォトレジストパターンを素早く正確かつ一貫して生成することができます。このシステムは、半導体産業の量産および研究室アプリケーションに最適です。ユニットは、最適な詳細とスループットのために一緒に動作する様々なハードウェア、ソフトウェア、およびその他のコンポーネントで構成されています。240シリーズには、ジョブとプロセスレシピのプログラムと構成に使用されるAdvanced Configuration Processor （ACP）、フォトレジスト処理サイクルごとに温度、圧力、バッチ状態を監視するInteractive Process Controller （IPC）、フォトレジストマスクの品質を監視および検証するために使用されるオンボード分析装置（OAS）が含まれます。さらに、このツールには、複数のガス源のパラメータを管理するために使用されるGAS Source Managerが含まれています。 各ステップのプロセスの相違を監視するのに使用されるガス検光子、 コーティングの解決の適切な粘着性を制御し、維持する粘着性の訂正器、 フォトレジスト材料を噴霧するために使用されるクリーンルームの不活性ガスバー、 各ジョブの資産パラメータを定義および制御するために使用される独自のソフトウェアアプリケーション。SEMITOOL 240シリーズは、自動化と柔軟性のために設計されています。複数のガスソース構成により、バッチ処理と連続処理の両方を可能にします。プラットフォームは、空気と粒子を最小限に抑えるためにクリーンルーム環境で実行されるように設計されています。この機器はまた、オンサイトでコンピュータ化されたメンテナンス監視システムを提供しており、ユニットの問題を迅速に診断およびトラブルシューティングするのに役立ちます。さらに、このマシンは複数の安全性とユーザーフレンドリーな操作機能を備えているように設計されており、ユーザーはフォトレジストプロセスの各ステップを正確に制御できます。240シリーズは、高精度フォトレジストパターンを迅速かつ一貫して生成するために探している施設に最適なツールです。SEMITOOL 240シリーズは、信頼性の高い効率的な設計により、最適なリソグラフィ結果を保証するために、ユーザーに最高の精度と再現性を提供します。