中古 SEMITOOL 240 / 260 / 270 #171344 を販売中

SEMITOOL 240/260/270フォトレジストシステムは半導体産業で広く使用されています240/260/270フォトレジストシステムは、半導体産業でさまざまな基板材料上のフォトレジストフィルムの精密蒸着、溶解、開発に使用されています。システムは、湿式加工ステーション、フォトレジストユニット、マスクアライナー、パーティクルモニター、乾燥ユニットなど、いくつかのモジュールとコンポーネントで構成されています。ウェット処理ステーションは、フォトレジストフィルムの堆積、溶解、開発を担当しています。その主なコンポーネントは、チャンバー、中央コントローラ、プロセスステーション、および回転キャリアです。チャンバーはプロセス化学と環境を含むために使用されます。プロセスステーションは、基材を使用した化学薬品や溶剤などの攪拌用品を担当しています。回転キャリアは、チャンバーからプロセス・ステーションに基板を輸送するために使用されます。10X〜500X倍率の顕微鏡を搭載したフォトレジストユニットは、工程中の基板の観察・検査に使用されます。スピニングとベーキングユニットは、液体または粘性フォトレジストを回転させ、マスクアライナーの光にさらされた後に基板上で作成されたパターンをベーキングする責任があります。また、SEMITOOL 240/260/270は、環境の清潔度を監視するために使用されるパーティクルモニターも備えています。最後に、乾燥ユニットは基板上のフォトレジストフィルムの乾燥と硬化を担当します。240/260/270は、半導体産業におけるフォトレジスト加工の顕著なツールです。高品質な半導体デバイスを製造するための信頼性と精度の高いプロセスを提供します。システムは複数の構成で利用でき、モジュール設計は部品の容易な維持そして取り替えを可能にし、時間およびお金を節約します。さらに、高度な安全機能により、人員と機器の最適な安全性を確保します。このシステムは、あらゆるタイプのウェット処理ステーション、フォトレジストユニット、およびベーキングまたは乾燥ユニットで使用できます。これらはすべて非常に正確で信頼性が高く、SEMITOOL 240/260/270は、フォトレジストシステムをお探しの企業に最適です。