中古 SEMITOOL 2300S #151756 を販売中

SEMITOOL 2300S
製造業者
SEMITOOL
モデル
2300S
ID: 151756
ウェーハサイズ: Up to 12"
Spin rinse dryer, up to 12".
SEMITOOL 2300Sは、マイクロエレクトロニクス機器の製造に使用されるフォトレジスト機器です。マイクロエレクトロニクス基板へのフォトレジストのコーティングおよび開発に使用されます。このシステムは高度に自動化され、ユーザーフレンドリーであり、高度な機能を備えた正確で反復可能なフィルム性能を提供します。2300Sは、繊細な基板との優れた互換性を提供し、自動化されたフィルムトラック構成を備えた低温ベーク法を採用しています。その自動化されたフィルムトラックは、さまざまな基板サイズに対応するために調整可能です。特別に設計された高品質のレジストポンプのセットは、各パルスで基板にレジスト材料を正確に適用することができます。さらに、SEMITOOL 2300Sの圧力チャンバおよびノズルアセンブリは、高さと角度の調整が可能で、正確で再現性のあるコーティングフィルム厚さを実現します。フォトレジストユニットには、短波長レーザーを搭載した高精度光学機器も搭載しており、正確かつ再現性の高い機能分解能を実現しています。このツールは、独自の高度なアルゴリズムを使用して、粉塵粒子の影響を排除し、正確なフォーカス制御を可能にします。さらに、搭載されている2速の攪拌モータにより、正確な粘度制御とコーティングの均一性を実現します。精密で反復可能なフィルムプロファイルを確保するために、2300Sは基板の表面プロファイルを正確に測定する高度な非接触型プロフィロメトリーを利用しています。さらに、低出力材料と昇華防止モデルは、敏感な基板を保護し、品質の高い結果を保証するのに役立ちます。SEMITOOL 2300Sフォトレジストアセットは、精密プロファイル、フィルム均一性、ファインフィーチャー制御、低アウトガス材料を必要とする幅広い用途に適しています。このモデルの自動化された機能により、基板ごとに均一で一貫したフィルム性能が実現され、高度な光学機器により、正確で再現性の高い機能分解能が保証されます。さらに、低温ベーキング法により繊細な基板との互換性が確保され、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に最適です。
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