中古 SEMES Lozix #9236890 を販売中

SEMES Lozix
製造業者
SEMES
モデル
Lozix
ID: 9236890
ウェーハサイズ: 12"
Track system, 12".
SEMES Lozixは、光を利用して基板表面にパターンを作成するフォトレジスト機器です。フォトレジストは、表面にパターンを生成するために光にさらすことができる液状材料です。この材料は通常、ポリマー、アクリル酸、染料でできています。露出されたフォトレジストは、パターンを基板にエッチングするために開発されます。Lozixシステムは、薄い金属膜、ガラス、プラスチック基板など、幅広い厚さのパターン材料に最適化されています。解像度を向上させ、5 μ m (0。005 mm)の低特長を持つパターンを生成することができます。このユニットは、大面積パターニングだけでなく、マイクロストラクチャーの製造にも使用されます。その柔軟性と精度により、医療、エレクトロニクス、航空宇宙、その他多くの産業に適したツールとなります。フォトレジストは通常、スピンコーティングを介して基板に適用されます。このコーティングは、光にさらされる前にライトブロッキングコンタクトスリーブで覆われます。この袖はプロセスの他の光源からの干渉を防ぎ、フォトレジストの均一な露出を保障するのに役立ちます。ダイレクトイルミネーション、またはレンズマシンで投影された重複画像を使用して露光を行うことができます。その後、パターン化された基板を得るために露出したフォトレジストを開発します。開発プロセスは、アプリケーションに応じて、正または負のフォトレジストで行うことができます。ポジティブフォトレジストは、露出していない材料を取り除くことによってパターンを生成し、ネガティブフォトレジストは露出した材料を残して動作します。最後に、パターン化された基板は、それぞれのアプリケーションで使用する準備ができています。SEMES Lozixツールは、基板の迅速で正確で汎用性の高いパターニングを可能にします。また、アプリケーション要件に応じてパターンをカスタマイズするためのさまざまな露出および開発オプションも提供しています。その柔軟性と精度は、プロトタイピングや小規模生産の実行のための幅広い可能性を開きます。
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