中古 SEMES Lozix #293777604 を販売中

製造業者
SEMES
モデル
Lozix
ID: 293777604
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2014
Track system, 12" 2014 vintage.
SEMES Lozixは、さまざまなフォトレジストやフォトマスク材料を幅広く処理するために設計されたフォトレジスト機器です。システムは、光感受性フォトレジスト素材と、レジストにパターンをエッチングするために使用することができる開発中のお風呂で構成されています。フォトレジスト(photoresists)とは、ポリマーと光学染料で構成されるフィルムの一種で、光に敏感です。光にさらされると、染料は変化し、これはパターンを作成するために使用することができる材料の光化学的な変化を引き起こします。Lozixユニットは、フォトレジストの高精度パターンを作成するために使用されます。それは光源および光学フィルターが付いている特別に設計されていた部屋から成っています。その後、放射線はレジスト材料に送られます。これは、あらかじめコーティングされたフォトレジストフィルムまたはフォトマスクのいずれかです。フォトレジストフィルムは、有機層、光吸収層、有機バインダー層で構成されています。光にさらされると、その表面が特定のパターンでエッチングする一連の光化学反応が起こります。これにより、非常に高い精度でパターンを作成することができます。SEMES Lozixマシンは、レジスト素材を使用せずにパターンをフォトマスクにエッチングすることもできます。フォトマスクとは、金属や半導体のパターンをエッチングするためのテンプレートとして使用できる透明プレートの一種です。Lozixツールは、ポリマーが重合してパターンを形成する原因となるマスクを紫外線にさらします。このプロセスにより、マスク上に高解像度のパターンが生成され、基材に転送することができます。SEMES Lozixアセットは、太陽電池や半導体チップなどの先端技術部品の製造に適しています。その高精度と再現性により、多くの生産プロセスに最適です。また、経済的であり、環境への影響が少ないため、多くのアプリケーションにとって魅力的な選択肢となっています。
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