中古 SEMES EKPS-01 #9352141 を販売中

SEMES EKPS-01は、表面平面化のための完全自動フォトレジスト装置です。幅広いフォトレジスト材料を優れた結果で加工することができます。基板製造や半導体デバイス製造など、さまざまな用途に対応しています。EKPS-01システムは、光電センサーを備えたクローズドループ制御ユニットを使用して、フォトレジスト塗装プロセスを正確に監視および制御します。基板全体に均一な膜厚を提供することができ、バリエーションが非常に少ない。また、フォトレジスト層の汚染を低減する自動洗浄機を内蔵しています。フォトレジストツールは、集中ビームヘッド、精密蒸着ターゲット、加圧ガス資産で構成されています。焦点を当てたビームヘッドは、さまざまなコーティング用途のさまざまな種類のビームを生成することができます。精密蒸着ターゲットは、基板上に均一なフォトレジスト層を提供するように設計されています。加圧されたガスモデルは均一な沈着を保障するために基質を渡る均一なガスの流れを提供します。この装置には、フォトレジストが均一に配置されていることを確認するための真空システムも内蔵されています。真空ユニットはまた、無駄を排除するためにコーティング処理後に余分な材料を除去するのに役立ちます。さらに、SEMES EKPS-01フォトレジストプロセスの自動制御を可能にする高度なソフトウェアを使用しています。このマシンを使用すると、コーティングプロセスパラメータをカスタマイズして、正確で反復可能な結果を得ることができます。EKPS-01フォトレジストツールは、非常に信頼性が高く、反復可能な結果を提供できるように設計されています。また、フォトレジストモデルの自動化では、アセットのコストが比較的低くなります。その結果、表面平面化アプリケーションやその他のフォトレジスト加工ニーズに最適です。