中古 SEMES EKPS-01 #9352140 を販売中

SEMES EKPS-01は、集積回路およびその他の関連するマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用される化学増幅正フォトレジスト装置です。フォトレジストは、一般的に感光性ポリマーフィルムで構成され、基板に塗布され、光源を用いてパターン化され、パターン化された画像を形成するように開発されています。EKPS-01は、ソリューションの安定性の向上、接着性と解像度の向上、および同様のシステム上のプロファイルの改善を提供する経済的なフォトレジストシステムです。本体の主成分は、フォトレジストの底面と中間表面層、バリア層、フォトレジストの上面層です。底面は基板への接着を促進するポリアミデイミドポリマーで構成され、フォトレジストの中間層と上層は、優れた分解能とエッチング抵抗を目的としたクロスリンクされたポリイミドポリマーで構成されています。障壁は酸素/湿気の侵入を妨げるためにポリアミデイミドで構成されます。このタイプの構造は、接着性を向上させ、デバイス製造時の高解像度パターニングを可能にするのに役立ちます。このフォトレジストマシンの主な利点は、その優れた解像度です。SEMES EKPS-01は、ハイエンド回路アプリケーションにとって重要な0。1 µmの機能を生産することができます。さらに、このツールは安定性を高め、製造プロセスの無駄を最小限に抑え、サイクルタイムの短縮による時間を節約します。EKPS-01の粘着性は、パターニングプロセス中の割れや剥離を最小限に抑えるのに役立ちます。SEMES EKPS-01アセットは、高解像度を維持しながら露光プロセスの感度と速度を向上させる化学増幅（CA）プロセスを提供します。CAプロセスは水溶液を介して行われ、酸発生器と安定剤の2つのコンポーネントが含まれます。酸発生器は光活性化段階で感度を高め、安定剤は早発を防ぎます。このプロセスは、画質を向上させながらサイクルタイムを大幅に短縮することができます。その優れた解像度、安定性の向上、優れた接着性、および化学増幅プロセスにより、EKPS-01フォトレジストモデルは回路製造に最適です。その高度な機能により、解像度とエッチング抵抗が向上し、幅広いアプリケーション条件で優れた性能を発揮します。