中古 SEMES EKPS-01 #9259252 を販売中

SEMES EKPS-01は、幅広いリソグラフィ用途向けに設計されたハイテクなフォトレジスト機器です。このシステムは、優れた性能と精度を提供するために並行して動作する多くのコンポーネントで構成されています。EKPS-01ユニットには、加工中に正確かつ正確なアライメントを保証するクローズドループ高さ制御機を備えた真空ベストテーブル（VBT）が含まれています。VBTは、基板のアライメントを容易にし、加工精度を向上させるx-y-zの動きを可能にするために、線形軸2モータ制御ツールによって駆動されます。フォトレジストディスペンシングステーションは、フォトレジストソリューションの自動分配を提供し、さまざまなサイズとジオメトリの基板上に薄く均一なコーティングを生成することができます。電子ビーム露出ワークステーションは、迅速な露出速度と高品質の結果を持つ広範囲にわたってパターンを作成することができます。直接等方性エッチングステーションは、サンプルの化学乾燥エッチング処理に使用され、高度な製造ニーズに柔軟なプロセスパラメータを提供します。最後に、化学溶剤ステーションは、不要な残留物を除去し、さらなる操作のためのサンプルを準備します。SEMES EKPS-01は、最高のプロセス精度と効率を提供する高精度リソグラフィに最適です。