中古 SCS FA-812-1060-1 #9157134 を販売中

SCS FA-812-1060-1は、半導体ウェーハ処理に高度なリソグラフィ機能を提供するために設計されたフォトレジスト機器です。本番環境に統合できる信頼性の高い使いやすいシステムです。高性能KrFエキシマレーザーを搭載し、最大200mmまでのウェハサイズをサポートするトップダウンスキャンステージを備えています。レーザー光は、2つのビームに分割され、定義された距離で分離され、フォトレジスト材料に所望のパターンを作成するために、コンデンサーレンズとピンホールアパーチャを介して指示されます。フォトマスクは、柔軟で正確なアライメントを可能にするためにスキャンステージと調整された電動マスクステージに取り付けられています。FA-812-1060-1は、自動パラメータ最適化を備えており、観察された性能に基づいて、必要に応じてプロセスパラメータが変更されるようにします。ウェーハ全体に露出したフォトレジストの均一性は、個別にプログラム可能なレーザー出力とシャッタースピードを使用して最適化されます。さらに、このマシンは、高度なプロセス制御と検証を提供するために、リアルタイムフィードバックを備えたハイエンドの監視ツールを使用しています。また、レーザーとウェーハの積載位置の間のシールド、電子的に連結されたシャッタードアなど、いくつかの安全機能が組み込まれています。シャッタードアには、ドアが開いている場合に露出が発生するのを防ぐインターロックが装備されています。緊急時の迅速なシャットダウンのための緊急オフボタンも用意されています。SCS FA-812-1060-1は、高品質のリソグラフィ結果を最適なプロセス制御で提供する、非常に効率的で信頼性の高いフォトレジスト資産です。このモデルは、高度な機能と自動化されたパラメータ最適化により、最小限の労力で世界クラスの半導体ウェーハを製造することができます。安全な操作、柔軟性、信頼性の高い結果を提供することにより、FA-812-1060-1はあらゆる生産環境に最適なソリューションです。