中古 SCS 6708D #9161853 を販売中

SCS 6708Dは、高精度の最先端フォトレジスト装置で、多様な生産ニーズに対応します。これは、実質的に途切れることのない生産のための優れた生産性を備えた高度で完全に自動化されたシステムです。ユーザーフレンドリーなユニットには、プロセス全体の制御を向上させる自動操作ソフトウェアが含まれています。このマシンは、ダイレクトリング駆動技術、またはDRTを備えており、全回転処理能力と最大30rpmの最高速度を備えています。DRTは、従来のシステムの通常のサイクルタイムの半分で高速負荷/アンロードを可能にします。フォトレジストツールは、優れた均一性と解像度を提供します。精密機械スピンドルを装着し、精度と均一性の優れた再現性を実現しています。このスピンドルには、調整可能なクランプリング、調整可能なリングジョー、サポートリングアームなどのコンポーネントが取り付けられており、コンポーネントの高精度な位置決めを保証します。このアセットは、基板のさまざまなサイズや化学物質に適応する再構成可能なウェーハホルダーも提供しており、特別なアダプタの必要性を排除します。密閉された真空キャップは、温度、運動力および静的力、および敏感なフォトレジスト層に害を及ぼす可能性のある粒子汚染レベルに対する保護を提供します。さらに、このモデルは、機器と材料の不一致を迅速に識別できる自動試験装置を備えています。光学センサ、シングルリファレンス、赤外線、クロロブロミドなど、さまざまなセンサは、測定時間を最小限に抑え、プロセスを簡素化します。この試験システムは、高度なデジタル信号処理によって監視され、プロセス内で最も微細な差異を検出して分離することができます。スループットとパフォーマンスを向上させるために、6708Dは自動機械の健康監視を提供します。これには、本番稼働間の工具性能の差を検出し、検出された不一致にフラグを付けることができるセンサーが含まれます。全体として、SCS 6708Dフォトレジストユニットは、優れたコーティングの均一性と解像度で信頼性が高く、効率的で高精度な生産手段を提供し、プロセスの合理化に役立つ高度な自動化機能を備えています。スケーラブルで高精度なフォトレジストマシンを必要とするユーザーに最適なオプションです。