中古 SCREEN RF3S #9379824 を販売中
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SCREEN RF3Sは、株式会社SCREENプロセスが開発したフォトレジスト光感受性コーティング装置です。フォトレジストは光にさらされると特性が変化する素材で、半導体デバイス、フォトニクス、プリント基板の製造に非常に役立ちます。RF3Sシステムは、高精度と解像度を必要とするユーザーのための高性能ソリューションです。このユニットは、アルミニウム反射層と光感受性フォトレジスト層を備えた3層コーティング構造で構成されています。底層には、基板との接触から他の2つの層を保護するように設計された特別に配合されたブロックアウト材料があります。アルミ反射層は、フォトレジスト層までのマスクの光パターンを反射し、活性化させ、基板に伝わる明確で高解像度のパターンを提供します。SCREEN RF3S機は高精度なパターニングが可能で、優れた解像度と再現性を備えています。ライン幅が5ミクロン以下のパターン結果に適しており、最大1ミクロンのオーバーレイ精度を提供できます。また、高k誘電体を含む高いレーザー出力と困難な材料にも耐えることができます。このツールは比較的使いやすく、簡単なコーティング手順と低いメンテナンス要件があります。それはきれいな基質および安定した温度および湿気のレベルと最もよく働き、短く、長い生命フォトレジストとの使用のために完全です。また、ウェット処理にも対応しているため、フォトレジストを簡単に取り外し、基盤となるパターンの整合性を維持できます。RF3S資産は、費用対効果が高く信頼性が高いため、さまざまなフォトレジストアプリケーションに最適なソリューションです。複雑で精密な部品のパターニングに最適で、さまざまな用途で使用するのに十分な柔軟性があります。これは、フォトリソグラフィープロセスにおける最適な精度、解像度、および信頼性をユーザーに提供する強力なモデルです。
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