中古 SCREEN RF3S #9311025 を販売中
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SCREEN RF3Sは、光を利用して基板上にエッチング抵抗層を形成するフォトレジスト装置です。光に敏感なポリマーを紫外線にさらすことで機能し、基板表面にマスクを発生させます。このマスクは、目的の形状を作成するために露出された材料を除去する減算プロセス、または目的の形状を作成するために露出された材料を追加する添加プロセスに使用することができます。RF3Sは、高精度エッチング用途に最適な耐溶剤性システムです。このユニットは、基材を変更することができる熱および化学処理に抵抗する非常に正確で均一なコーティングを作成するように設計されています。また、マスキングポリマーは極めてスピン抵抗性に優れているため、自動スピンコーティング用途においても極めて高速に耐えることができます。光の露出プロセスは、化学バットに置かれた基板から始まり、そこで光に敏感な化学浴槽が適用されます。紫外線に敏感なマスクを基板の上に敷き、紫外線にさらされます。露出された光に敏感な化学薬品は基質の材料と反応し、表面を覆うマスクを作成します。露出が完了した後、マスクは洗い流され、光にさらされなかった基板の任意の部分は手つかずのままです。基板をエッチング室に運び、化学エッチング剤を塗布します。使用されるエッチング処理の種類によっては、基板の露出部分がエッチングされるか、露出されていない部分がエッチングされます。エッチング工程を制御することで、極めて正確で高精度なエッチングが可能です。SCREEN RF3Sは、高精度、高精度を必要とする用途に理想的です。熱および化学処理に耐える均一なスピン耐性コーティングおよびエッチングを提供します。この機械はまた非常に詳細なエッチングを生成することができ、金属やポリマーなどのさまざまな材料に使用することができます。その高速で正確なアプリケーションで、RF3Sは精密なエッチングを必要とするあらゆる仕事に最適です。
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