中古 SCREEN RF3 #9311026 を販売中

SCREEN RF3は、高精度かつ超高精度のマイクロリソグラフィープロセスを可能にするフォトレジスト機器です。これは高度なソフトウェア制御光学システムを使用しており、リソグラフィー処理を操作することで、最高の精度で非常に複雑で小さなパターンを作成することができます。単位は2つの主要な部品から成っています；レーザースキャナーと高精度な六軸ステージ。レーザースキャナーは、フォトレジスト材料の正確かつ正確な露出を可能にします。このレーザースキャン機には、サブミクロンから数百ミクロンの範囲で動作可能なスキャンヘッドが装備されており、最大1GHzの高速性を備えています。ヘキサステージには、ウェーハの正確で安定した位置を確保するための調整可能な装置が装備されています。この段階では、ウェーハを0。001°〜0。0015°単位で回転させることもでき、より複雑な構造を作ることができます。RF3ツールは高精度で信頼性があります。それはフィードバック制御および連続的なクリーンルーム操作のための自動化された整列および閉鎖ループ整列サーボを特色にします。これにより、振動やサーマルノイズによる汚染のリスクを軽減しながら、高い精度を実現します。さらに、優れたウェーハ均一性と低ノイズプロファイルを実現し、デバイスのパフォーマンスと歩留まりを最適化します。フォトレジストプロセスのプロセス内モニタリングと制御を可能にする追加のin-situ計測オプションがあります。SCREEN RF3モデルは、フォトレジストプロセスに最高の精度と精度を提供し、並外れた製品性能と歩留まりを最小限に抑えます。この装置は現在、半導体およびナノテクノロジープロセスの業界で広く使用されています。