中古 SCREEN RF3 #9309659 を販売中

SCREEN RF3は、半導体ウェーハ上に正確なパターンを描画するために使用されるフォトレジスト装置の一種です。このフォトレジストシステムは、液相アンモニア系の接着促進剤と露光用の高性能フォトレジスト材料を採用しています。最先端の技術と精密なオートメーション制御技術を組み合わせ、プロセスの再現性を高めます。フォトレジストマシンは、薄く均質な層を作成するためにウェーハに適用されるレジストソリューションで構成されています。この層は、フォトレジスト材料、反射防止コーティング、および接着促進層からなる複数の膜で構成されています。この接着促進層は、フォトレジストと基板との間に強い接着性を提供するために開発された液相材料です。ウエハが紫外線にさらされると、フォトレジスト層は反応し、エネルギーによって化学的に攪拌されます。この攪拌によってレジスト層のポリマーが分解され、パターンが描画される領域から既存のフィルムを分散して除去することができます。露出が発生しない場合、レジストは保持され、強力なままです。フォトレジストツールRF3使用することで、パターニングプロセスの全体的な効率と再現性が向上します。アセットで使用される自動制御により、プロセスの再現性が均一で、複数のウェーハにわたって一貫していることを保証します。成膜パターンを細かく制御できるため、優れた機能分解能と高密度パターニングを実現します。全体として、SCREEN RF3装置は、半導体アプリケーション向けの強力で信頼性の高いフォトレジストシステムです。高品質な素材と高度なオートメーション技術を採用し、プロセスの再現性を高め、均一なパターンを提供し、高密度分解能を可能にします。その結果、半導体プロセスの生産性が向上し、コストが削減され、効率が向上します。