中古 SCREEN RF-300A #9355350 を販売中

SCREEN RF-300Aは、半導体製造における複雑なフォトマスクの精密アライメントと露出に使用されるウェハステッパーです。使いやすく堅牢なデザインが特徴で、市場をリードするパフォーマンスと高度な機能を備えています。RF-300Aは、最大投影画像サイズ（マスクサイズ）484x484mm、露光波長範囲365-442nm、非球面レンズを備えており、画像解像度を高めています。独創的なペリクル駆動装置を備えており、複雑なマスクを高精度で効率的かつ正確にアライメントできます。ステージは最大ステージ速度270mm/秒のハイブリッドモーターシステムによって駆動され、最大メッシュサイズは30,620 x 30,620です。これにより、SCREEN RF-300Aはハイスループット生産シナリオに適しています。ステッパーは、シングルウエハ、マルチウエハ、スリットスキャン、リバースなどの複数の露出モードを提供し、多様な露出要件に対応します。高精度のユニット配置機能とアクティブアライメントセンサマシンを使用することで、露出精度がさらに向上し、ウェーハ上に正確かつ正確に画像を配置することができます。このマシンはまた、ユニークな電子シャッターを提供しています。これにより、露出が停止され、露出が開始された後でも、露出の再露光または露出パラメータのリセットが可能になります。さらに、RF-300Aには露出時間、周波数、露出電力などの詳細を記録する露出報告ツールも内蔵されており、信頼性の高いワークフローとデータトレーサビリティを保証します。機械は露出プロセスを監視するためにさまざまな自動維持機能および色LCD表示を支えている容易な維持および操作のために設計されています。ステッパーには、内部冷却アセットとイオナイザー、排気フィルターが装備されており、有害な化学物質や粒子への暴露からユーザーを保護します。全体的に、SCREEN RF-300Aは高度なウェーハステッパーであり、半導体の製造に高解像度のイメージングと露光精度を提供します。堅牢で信頼性の高い機能に加えて、ステッパーはハイスループットの生産シナリオに最適です。