中古 SCL CD 500 #293819612 を販売中

SCL CD 500は微細加工に使用されるフォトレジスト装置です。フォトレジストと呼ばれる光感受性材料をシリコン基板に応用する。このフォトレジストは強力なパルスレーザーにさらされ、フォトレジストの化学的および構造的変化のパターンを生成し、膜、層、およびその他の特徴を正確に形成するために使用できます。CD 500は、非常に精密な形状と非常に低い特徴サイズの構造を生成することができるため、半導体製造アプリケーションでの使用に適しています。フォトレジストは、感光剤と樹脂の2つの成分で構成されています。感光剤は、レーザーエネルギーを吸収し、フォトレジストに反応を起こす材料です。樹脂成分は、基板上に膜を形成するポリマーです。レーザーを用いてフィルムをパターン化し、フィルムの露出部分がエッチングされます。このエッチングステップは、フォトレジスト内の望ましい構造を作成します。SCL CD 500は、Direct-Write Laser Rapid Prototyping （DW-LRP）と呼ばれる方法で動作します。この手法は、電子ビームリソグラフィ（EBL）とレーザラピッドプロトタイピング、および従来のスキャンレーザースポットリソグラフィ（SSLL）を組み合わせたものです。DW-LRPは、短時間で非常に高解像度の構造を作成することができます。CD 500は250Hzレーザー反復率を備えており、非常に小さなフィーチャーサイズのパターンを生成することができます。システムは同時に複数のレイヤーを生成することもできます。この能力は、製品が太陽電池や発光ダイオードなどの複数の層を必要とするアプリケーションにとって有益です。SCLのCD 500単位は環境の利点の範囲を提供します。有害汚染物質や廃棄物を発生させないため、環境にやさしいプロセスです。機械はまた、運用コストを削減するのに役立つ比較的低エネルギーを使用します。さらに、このツールは非常に信頼性が高く、必要最小限のメンテナンスで一貫した結果が得られます。全体として、CD 500は微細加工用途に特化して開発された高度なフォトレジスト資産です。高精度で、比較的短期間で複雑な構造物を生成することができます。環境に優しいこのモデルの運用は、さらにその価値を高め、半導体産業の部品生産に有用で費用対効果の高いツールとなっています。