中古 SCL CD 500 #293661305 を販売中

SCL CD 500は、レジストコーティングやフラットパネルディスプレイ（FPD）や半導体デバイスのパターニングなどの重要な生産アプリケーションを実行するために設計された統合フォトレジスト機器です。高度なスピンコーティングとソフトベーキング技術と、精密なウェーハレベリングとクリティカルクリーニングを組み合わせ、非常に均一なレジストコーティングを提供します。CD 500には300mm x 300mmチャンバーが装備されており、350mmプロセスと8インチまでのウェーハサイズをサポートしています。4,500rpmまでのコーティングとベーキングに高精度のスピンヘッドを使用し、最大2°オフプレーン傾斜の静的ウェーハとウェーハを収容します。このシステムは、フォトレジストを最小限の残骸で素早く溶解することを可能にするアタッチメントバブリング設定技術を備えた統合キャリアを備えています。これにより、より正確で均一なレジストコーティングが可能になります。このユニットは、電子ビーム、液晶レジスト、ソリッドタイプなどの標準および高度なフォトレジスト材料とも互換性があります。レジストコーティングのために、SCL CD 500は基板と基板チャックの平坦性を維持するための高度な動きを含み、正確に均一なコーティングを保証します。CD 500のスピンヘッドは、ユーザーがフォトレジストの種類と厚さに合わせて速度を調整できるように、さまざまなスピン速度設定を備えています。パターニングおよびエッチング工程では、フォトレジスト層の均一なパターニングを確保するために、複数のノズルで高精度のスプレーレベルと1 μ mの位置精度を提供します。統合されたドレンバルブはフォトレジスト液体の適切な処分を確実にするのに役立ちますが、統合された真空ポンプは気泡を最小限に抑え、基板上に非常に均一で密なフォトレジストを形成するのに役立ちます。SCL CD 500は、高精度で自動化されたフォトレジストツールで、要求の厳しいFPDおよび半導体アプリケーションで最高品質の結果を効果的に提供するように設計されています。その高度な機能と技術により、非常に均一でクリーンなフォトレジストコーティングとパターンが保証され、一貫したプロセス結果が得られ、複雑なFPDアプリケーションが容易になります。