中古 SCL CD 500 AR 42 #9102796 を販売中

SCL CD 500 AR 42は、半導体デバイス製造プロセスで使用するために設計された電子ビームフォトレジスト装置です。集積回路の製造に使用される誘電材料および導電材料にナノメートルスケールの特徴と重要な寸法を作成するように設計されています。このシステムには、複数の電子ビームリソグラフィ源、強力な測定能力、およびソフトウェア制御フォトレジスト管理ユニットが含まれています。CD 500 AR 42の電子ビームソースは、高加速をサポートする共振インレンズマシンを備えており、高度なリソグラフィーパターンに必要な高解像度画像を提供します。幅広いビーム電流密度により、フォトレジストや基材の露出を最適化するために動作条件を調整することができます。このツールの強力な計測機能には、ダイナミックフォーカス、ライン/スパン追跡、マークの臨界寸法（CD）、プロファイル輪郭を測定する機能が含まれます。自動生産環境への容易な統合のために、SCL CD 500 AR 42にはApplication Programming Interface （API）が装備されており、さまざまな通信プロトコルとの互換性があります。CD 500 AR 42のフォトレジスト管理資産は、デバイス製造に使用されるすべての種類のフォトレジストを包括的にサポートします。このモデルには、フォトレジスト前処理と露出後のベークの複数の側面を制御するための高精度の自動装置が含まれています。露出とベークサイクルの間に最適なウィンドウを維持し、信頼性と再現性の高いフォトレジストの開発を保証するように設計されています。SCL CD 500 AR 42は、あらゆる半導体製造設備に最適です。このシステムは、堅牢な設計と高性能性能により、複雑なナノメートルスケールの機能を生成するための非常に信頼性の高いソリューションを提供します。さらに、内蔵の計測システムにより、露出プロセスを迅速かつ正確に制御できます。フォトレジスト管理ユニットは、露出前および露出後のアプリケーションに自動的で信頼性の高いソリューションを提供します。