中古 SCL CD 200A #9352010 を販売中

SCL CD 200Aは、半導体産業におけるフォトリソグラフィープロセス用に設計されたユニバーサルフォトレジスト機器です。液体フォトレジスト、ネガティブマスク、光源、プロセスチャンバーで構成されています。フォトレジストは、ウェーハに塗布され、マイナスマスクで光源にさらされる感光材料です。マスクは透明で不透明な部分のパターンで構成されており、フォトレジストへの制御された光の量を可能にします。フォトレジストが光にさらされると、それは光の波長に応じて架橋または劣化する化学変化を起こします。これにより、ウェーハ上の特徴を高精度にパターン化することができます。SCL CD 200 Aシステムは、フォトリソグラフィープロセスを制御するための高度なプロセスチャンバーを備えています。温度、圧力、湿度、大気など様々なパラメータを制御できます。これにより、正確で反復可能な結果を提供する高度に制御されたフォトリソグラフィープロセスが可能になります。さらに、このユニットは、乾燥処理とウェット処理の両方に使用できます。この機械は、湿式加工における液浸技術を利用して、より大きな解像度と改善されたプロセス制御を可能にします。このツールは、フォトマスク、トポグラス、石英、ガラスオンクォーツなどの複数の基板を処理することができます。これは、継続的なシングルおよびデュアルトラックの生産実行を実行するように設計されています。独自の均一な光源を使用して、ウェーハ全体に一貫した露出を確保します。このアセットは、正と負の両方のフォトレジストに使用でき、深い紫外線から赤外線まで幅広い波長に対応できます。CD 200Aモデルは、高いレベルのプロセスとパフォーマンスの一貫性を提供します。解像度を向上させ、プロセス制御を強化します。完全自動化された装置であり、大量生産プロセスに使用できます。使いやすく、メンテナンスも簡単で、高精度で費用対効果の高いフォトリソグラフィープロセスに最適です。